CIQTEK SEM5000X to ultrawysokorozdzielczy mikroskop FESEM ze zoptymalizowaną konstrukcją kolumny optyki elektronowej, redukującą całkowite aberracje o 30% osiągającą przy tym ultrawysoką rozdzielczość 0,6 nm przy 15 kV oraz 1,0 nm przy 1 kV.
Wysoka rozdzielczość i stabilność zapewniają przewagę w zaawansowanych badaniach nad nanostrukturalnymi materiałami, a także w rozwoju i produkcji półprzewodnikowych układów scalonych (chipów IC) dla zaawansowanych technologicznie węzłów.
Specyfikacja:
| CIQTEK FIB-SEM DB550 | ||
| Optyka
elektronowa |
Źródło | Działo elektronowe z emisją polową Schottky’ego) |
| Rozdzielczość w wysokiej próżni | 0,6 nm przy 15 kV (detektor SE),
1,0 nm przy 1,0 kV (detektor SE),
|
|
| Zakres napięcia przyspieszającego | od 0,02 kV do 30 kV | |
| Zakres powiększenia | 1– 2 500 000x | |
| Komora | System próżniowy | Zautomatyzowana kontrola próżni |
| Kamera | kamera optycznej nawigacji,
kamery IR do podglądu wewnątrz komory
|
|
| Stolik próbki | X, Y ≥ 110 mm,
Z ≥ 65 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰
|
|
| Detektory | Standardowe | Detektor wewnątrz soczewkowy
Detektor Everhart-Thornley ETD
|
| Opcjonalne | Chowany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (RET-BSED)
|
|
| Detektor skaningowej transmisyjnej mikroskopii elektronowej (STEM)
|
||
| Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
|
||
| Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)
|
||
| Detektory do pracy w niskiej próżni LVD | ||
| Akcesoria | Śluza boczna 4” i 8”
|
|
| Panel sterowania i trackball
|
||
| Sprzętowy moduł antykolizyjny
|
||
| Obsługa | Nawigacja | Nawigacja optyczna na obrazie, nawigacja uproszczona, trackball (opcja)
|
| Funkcje automatyczne | Automatyczna regulacja jasności i kontrastu, automatyczne ostrzenie (autofokus) oraz automatyczne ustawienie astygmatyzmu | |
CIQTEK SEM5000Pro to wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową Schottky’ego (FE-SEM), który został zaprojektowany do uzyskiwania wysokiej rozdzielczości, nawet przy niskich napięciach przyspieszających. Zastosowanie zaawansowanej opatentowanej technologii optyki elektronowej „CIQTEK-Super-Tunnel” umożliwia uzyskanie wiązki o specjalnej geometrii dodatkowo zastosowanie konstrukcji soczewki złożonej z elementów elektrostatycznych i elektromagnetycznych, pozwala zredukować efekt ładowania się powierzchni próbki, minimalize aberracje soczewek.
Zastosowane technologie poprawiają rozdzielczość obrazowania przy niskich napięciach, mikroskop 5000PRO osiąga rozdzielczość 1,1 nm przy 1 kV, co umożliwia obserwację próbek nieprzewodzących lub częściowo przewodzących a także skutecznie zmniejsza uszkodzenia próbki spowodowane ekspozycją na wiązkę elektronową.
Specyfikacja:
| CIQTEK FESEM SEM5000pro | ||
| Optyka
elektronowa |
Źródło | Działo elektronowe z emisją polową Schottky’ego) |
| Rozdzielczość w wysokiej próżni | 0,7 nm przy 15 kV (detektor SE),
1,1 nm przy 1,0 kV (detektor SE),
|
|
| Zakres napięcia przyspieszającego | od 0,02 kV do 30 kV | |
| Zakres powiększenia | 1– 2 500 000x | |
| Komora | Porty rozszerzeń | 20 |
| Kamera | Optyczna nawigacji, kamera IR do podglądu wewnątrz komory
|
|
| Stolik próbki | X, Y ≥ 110 mm,
Z ≥ 65 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰
|
|
| Detektory | Standardowe | Detektor wewnątrz soczewkowy
Detektor Everhart-Thornley ETD
|
| Opcjonalne | Chowany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (RET-BSED)
|
|
| Detektor skaningowej transmisyjnej mikroskopii elektronowej (STEM)
|
||
| Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
|
||
| Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)
|
||
| Detektory do pracy w niskiej próżni | ||
| Akcesoria | Śluza boczna 4” i 8”
|
|
| Panel sterowania i trackball
|
||
| Sprzętowy moduł antykolizyjny
|
||
| Obsługa | Nawigacja | Nawigacja optyczna na obrazie, nawigacja uproszczona, trackball (opcja)
|
| Funkcje automatyczne | Automatyczna regulacja jasności i kontrastu, automatyczne ostrzenie (autofokus) oraz automatyczne ustawienie astygmatyzmu | |
|
|
Przedstawiciel:
Katarzyna Szczygielska |
|---|
|
|
Przedstawiciel:
Katarzyna Szczygielska
Serwisowani producenci (2):
CIQTEK,
ThermoFisher Scientific
|
|
|---|